半導体パラメータ・アナライザ
4ミディアム・パワーSMU(分解能10fA/2μV)/2電圧源ユニット(最大20V,最大100mA)/2電圧モニタ・ユニット(差動モードで1μVの分解能)付き、同期ストレス測定機能、タイムドメイン測定、ノブ掃引、自動解析機能、カラーグラフィックス表示、3.5"FDD、HP-IB,RS232C I/F、ディスプレイ傷あり
・ソース/モニタユニット(SMU):MPx4ch
・電圧ソース/ユニット(VSU)x2ch
・電圧モニタ/ユニット(VMU)x2ch